การสังเคราะห์เฟสไอเคมีของโบรอนไนไตรด์

ในปีพ. ศ. 2522 Sokolowski ประสบความสำเร็จในการใช้เทคโนโลยีพลาสมาพัลซิ่งเพื่อเตรียมฟิล์มลูกบาศก์โบรอนไนไตรด์ (CBN) ที่อุณหภูมิต่ำและความดันต่ำ อุปกรณ์ที่ใช้นั้นเรียบง่ายและมีกระบวนการที่ง่ายจึงได้รับการพัฒนาอย่างรวดเร็ว มีวิธีการสะสมไอที่หลากหลาย ตามเนื้อผ้าส่วนใหญ่หมายถึงการสะสมไอสารเคมีเชิงความร้อน อุปกรณ์ทดลองโดยทั่วไปประกอบด้วยหลอดควอตซ์ทนความร้อนและอุปกรณ์ทำความร้อน พื้นผิวสามารถอุ่นด้วยเตาความร้อน (CVD ผนังร้อน) หรือการให้ความร้อนแบบเหนี่ยวนำความถี่สูง (CVD ผนังเย็น) ก๊าซปฏิกิริยาจะสลายตัวบนพื้นผิวของสารตั้งต้นที่มีอุณหภูมิสูงและในเวลาเดียวกันปฏิกิริยาทางเคมีจะเกิดขึ้นเพื่อสะสมฟิล์ม ก๊าซปฏิกิริยาเป็นก๊าซผสมของ BCl₃ หรือ B₂H₄และ NH₃.