เรือระเหยเก่งในเตาเผาสุญญากาศ

การระเหยเรือเป็นเตาสุญญากาศเพื่อให้ได้ส่วนประกอบหลักของการเคลือบวัสดุระเหยฟังก์ชั่นของมันคือการระเหยของวัสดุและทำให้มันกลายเป็นไอโดยความร้อนสะสมในสภาพแวดล้อมสูญญากาศเพื่อสร้างฟิล์มบาง ๆ ต่อไปนี้จากฉากแอปพลิเคชันคุณสมบัติวัสดุจุดทางเทคนิคและแอพพลิเคชั่นอุตสาหกรรมและด้านอื่น ๆ ของการวิเคราะห์โดยละเอียดของเรือระเหยในแอปพลิเคชันวัคซีนสุญญากาศ:

ฉากแอปพลิเคชันหลัก

1. การสะสมของฟิล์มบางและการเตรียมการเคลือบเชื้อวัคซีนผ่านการระเหยของเรือทำความร้อนวัสดุระเหย (โลหะ, โลหะผสม, สารประกอบ ฯลฯ ), เพื่อให้มันอยู่ในสภาพแวดล้อมที่มีแรงดันต่ำ, การระเหยและการสะสมของพื้นผิวของพื้นผิว, การก่อตัวของฟิล์ม (SiO₂, Sinₓ), ใช้ในการผลิตชิป, แผงวงจร, อุปกรณ์ MEMS ฟิล์มออปติคัล: ฟิล์มเสริมการส่งผ่าน (MGF₂), ฟิล์มสะท้อนแสง (AG, AL), ฟิล์มกรอง (ฟิล์มอิเล็กทริกหลายชั้น), ใช้ในเลนส์ออพติคอล, กล้องโทรศัพท์มือถือ, จอแสดงผล การเคลือบฟังก์ชั่น: การเคลือบที่ทนต่อการสึกหรอ (TIN, CRN), ฟิล์มฉายความร้อน (โลหะผสมโลหะ), ฟิล์มที่ทนต่อการกัดกร่อน (PTFE), ใช้ในกระจกยานยนต์, เครื่องมือตัด, ส่วนประกอบการบินและอวกาศ

2. การทำให้บริสุทธิ์ของวัสดุและการปรับเปลี่ยนการแยกวัสดุที่มีความบริสุทธิ์สูง: การใช้สารต่าง ๆ ที่มีความดันไอที่แตกต่างกันผ่านการให้ความร้อนของเรือระเหยเพื่อให้ได้การทำให้บริสุทธิ์ขององค์ประกอบโลกที่หายาก (เช่น ND, DY), โลหะมีค่า (Au, PT) การรักษาด้วยสารเติมผิว: การระเหยของสารเจือปน (เช่น B, N) บนพื้นผิวของเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์หรืออิเล็กโทรดแบตเตอรี่เพื่อปรับปรุงคุณสมบัติทางไฟฟ้าหรือแสงของวัสดุ

ประการที่สองคะแนนทางเทคนิคและข้อกำหนดการออกแบบ

1. การควบคุมอุณหภูมิและความสม่ำเสมอของเรือระเหยโดยการทำความร้อนความต้านทานหรือความร้อนจากลำแสงอิเล็กตรอนจำเป็นต้องตั้งอุณหภูมิตามความดันไอของวัสดุ (เช่นอุณหภูมิการระเหยของอัลประมาณ 1,200 องศา AU ประมาณ 1,400 องศา)

การออกแบบร่างกายเรือ (เช่นความลึกของร่องมุมเอียง) เพื่อให้แน่ใจว่าการระเหยของวัสดุนั้นมีความร้อนอย่างสม่ำเสมอเพื่อหลีกเลี่ยงความร้อนสูงเกินไปในท้องถิ่นที่เกิดจากการระเหยหรือการระเหยของสิ่งเจือปน

2. สภาพแวดล้อมสูญญากาศที่จับคู่สูญญากาศ (โดยปกติ 10- ³ ~ 10- ⁶ PA) สามารถลดจุดเดือดของวัสดุปรับปรุงอัตราการระเหยในขณะที่หลีกเลี่ยงการเกิดออกซิเดชัน วัสดุเรือระเหยจะต้องมีความเสถียรภายใต้สุญญากาศสูงเช่นเรือกราไฟท์ต้องหลีกเลี่ยงการเกิดออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูง (ต้องเต็มไปด้วยก๊าซเฉื่อยเช่น AR)

3. ความเข้ากันได้ทางเคมีเพื่อหลีกเลี่ยงการระเหยของวัสดุและปฏิกิริยาของเรือ: ตัวอย่างเช่นการระเหยของ Zn, วัสดุที่มี S ไม่ควรใช้เรือโมลิบดีนัม (ง่ายต่อการสร้างจุดหลอมเหลวต่ำ mos ₂นำไปสู่การกัดกร่อน); การระเหยของไนไตรด์ที่ต้องการเรือโบรอนไนไตรด์เพื่อป้องกันร่างกายเรือโลหะและปฏิกิริยาขององค์ประกอบ N เพื่อสร้างสิ่งสกปรก

4. วัฏจักรชีวิตและการทดแทนหลังจากการใช้งานในระยะยาวเรืออาจเกิดจากการกัดเซาะของวัสดุการกัดเซาะการระเหยตกค้างหรือความล้มเหลวของการเสียรูปการบำรุงรักษาปกติ (เช่นการทำความสะอาดอัลตราโซนิก) หรือการเปลี่ยนเพื่อให้มั่นใจถึงความเสถียรของคุณภาพการเคลือบ แอพพลิเคชั่นอุตสาหกรรมทั่วไป

1. การผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์และไมโครอิเล็กทรอนิกส์: การระเหยของ AL, การเตรียม CU ของขั้วไฟฟ้าวงจรรวมโดยใช้เรือโมลิบดีนัมหรือเรือทังสเตน; การสะสมของชั้นฉนวนกันความร้อนสามารถเป็นเรือกราไฟท์ที่เป็นตัวเลือกหรือเรือโบรอนไนไตรด์ (เพื่อหลีกเลี่ยงการปนเปื้อนของโลหะ) อุปกรณ์พลังงาน: การใช้ Boron Nitride Boat Evaporation Gan, ALN, การเตรียมการของชั้น epitaxial transistor การเคลื่อนย้ายอิเล็กตรอนสูง (HEMT) เพื่อหลีกเลี่ยงการแนะนำสิ่งสกปรกในตัวเรือโลหะ

2. ทัศนศาสตร์และเทคโนโลยีการแสดงผลส่วนประกอบออพติคอลความแม่นยำ: การระเหยของเรือทังสเตน, AG, การเตรียมกระจก, การระเหยของเรือกราไฟท์, MGF₂, การเตรียมฟิล์มเสริมการส่งสัญญาณเพื่อให้แน่ใจว่ามีความสม่ำเสมอของฟิล์มและอัตราข้อบกพร่องต่ำ

OLED และ MINI-LED: การระเหยของเรือโบรอนไนไตรด์ของวัสดุเปล่งแสงอินทรีย์ (เช่น IR complex) หรือจุดควอนตัมเพื่อหลีกเลี่ยงวัสดุร่างกายเรือและโมเลกุลอินทรีย์ปฏิกิริยาเพื่อเพิ่มอายุการใช้งานของอุปกรณ์

3. เซลล์พลังงานแสงอาทิตย์สนามพลังงานใหม่: โมลิบดีนัมการระเหยของเรืออิเล็กโทรดอิเล็กโทรด, การสะสมของเรือกราไฟท์sinₓฟิล์มลด; ในแบตเตอรี่ chalcogenide, Boron Nitride Boat Evaporation Formamidine-Lead Iodine (FAPBI₃) เพื่อป้องกันการปนเปื้อนโดยไอน้ำและสิ่งสกปรก

4. แบตเตอรี่ลิเธียมไอออน: การระเหยของเรือแทนทาลัม LI การเตรียมโลหะของอิเล็กโทรดแบตเตอรี่โซลิดสเตตการใช้ความต้านทานการกัดกร่อนของลิเธียม การระเหยของ B, N Elements เจือจางแอโนดที่ใช้ซิลิกอนดัดแปลงเพื่อเพิ่มประสิทธิภาพการขี่จักรยาน

5. อุปกรณ์ระดับสูงและการเคลือบเครื่องมือการบินและอวกาศ: ทังสเตนการระเหย TI, TI, CR เตรียมดีบุก, การเคลือบแข็ง CRN, ปรับปรุงความต้านทานการสึกหรอของเครื่องมือ; Boron Nitride Boat Evaporation ของสารตั้งต้นเพชรการเตรียมฟิล์ม DLC ที่ใช้ในตลับลูกปืนการบิน

การรักษาโลหะผสมอุณหภูมิสูง: การระเหยของ Al, Y และองค์ประกอบอื่น ๆ โดยเรือโมลิบดีนัมในเตาสุญญากาศเพื่อสร้างสารต้านอนุมูลอิสระ (เช่นการเคลือบอลูมินา) สำหรับใบมีดเครื่องยนต์ Aero

Shengyang New Material Co. , Ltd. มุ่งมั่นที่จะผลิตผลิตภัณฑ์แปรรูป Boron Nitride และ Boron Nitride และสามารถปรับแต่งชิ้นส่วนเซรามิกของ Boron Nitride ตามความต้องการของลูกค้า ติดต่อเราหากจำเป็น
โทรศัพท์: +8618560961205
Email:sales@zbsyxc.com