สารละลายซิลิกอนคาร์ไบด์ Cantilever
พื้นที่การใช้งาน: ในเตาหลอมแบบกระจายและเตาแบบกระจายออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูงที่ใช้ในอุตสาหกรรมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์เพื่อทำการเติบโตทางความร้อนและออกซิเดชันของเวเฟอร์ซิลิคอน แป้นยื่นยื่นเป็นองค์ประกอบสำคัญของระบบการโหลดแผ่นเวเฟอร์เพื่อให้แน่ใจว่าท่อเวเฟอร์และท่อเตามีความสม่ำเสมอมากขึ้น การแพร่กระจายและการเกิดออกซิเดชันสม่ำเสมอ ไม้พายซิลิคอนคาร์ไบด์ยื่นออกมามีลักษณะเฉพาะคือความแข็งแรงสูง ความบริสุทธิ์สูง การนำความร้อนสูง ไม่มีรูพรุน ความต้านทานต่อการกัดกร่อนของกรดและด่าง ไม่มีการปนเปื้อนที่อุณหภูมิสูง เสถียรภาพการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างรวดเร็ว และความสามารถในการรับน้ำหนักสูง เมื่อรวมกับค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวเนื่องจากความร้อนที่คล้ายคลึงกับการเคลือบ LPCVD การใช้แป้นพายยื่นยื่นออกไปของซิลิคอนคาร์ไบด์ใน LPCVD จะช่วยขยายรอบการทำความสะอาดเพื่อการบำรุงรักษาได้อย่างมาก และลดการปนเปื้อนได้อย่างมาก
คำอธิบาย
ข้อดีหลักประการหนึ่งของสารแขวนลอยซิลิกอนคาร์ไบด์คือความสามารถในการให้ผลลัพธ์ที่สม่ำเสมอและสม่ำเสมอ สารละลายสามารถให้ผิวเรียบเนียนและมีคุณภาพพื้นผิวที่ดีเยี่ยม ทำให้มั่นใจได้ว่าชิ้นส่วนที่กลึงจะปราศจากรอยขีดข่วน รอยแตก หรือข้อบกพร่องอื่นๆ
ข้อดีอีกประการหนึ่งของสารแขวนลอยซิลิกอนคาร์ไบด์ก็คือเป็นมิตรกับสิ่งแวดล้อม สารละลายไม่มีสารประกอบอันตรายหรือสารเคมีที่เป็นพิษซึ่งทำให้ปลอดภัยในการใช้และกำจัด
นอกจากนี้ สารละลายแขวนลอยซิลิกอนคาร์ไบด์ยังมีความคุ้มค่าสูง เนื่องจากช่วยลดการสิ้นเปลืองวัสดุและเวลาในการดำเนินการได้อย่างมาก สารละลายสามารถกำจัดวัสดุได้เร็วกว่าเทคนิคการบดและขัดแบบดั้งเดิม ซึ่งจะช่วยเพิ่มประสิทธิภาพในกระบวนการผลิต
